日本ULVAC 爱发科 UNECS-1500A 快速椭偏仪 UNECS-2000A 自动类型
2025-12-23 16:49:54
admin
快速椭偏仪
自动类型
UNECS-1500A
UNECS-2000A
UNECS-3000A
特点
高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
150mm自动载物台：
配备兼容φ150mm的R-θ自动载物台，并具备自动对焦功能，可实现基板表面的自动映射测量。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
规格
| 型号 | 1500A | 2000A | 3000A | |
| 波长范围 | 530～750nm、380～760nm（选择） | |||
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | |||
| 入射角度 | 70°固定 | |||
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |||
| 膜厚范围 | 1nm ～ 2μｍ | |||
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |||
| 平台 | Φ150mm自动 | Φ200mm自动 | Φ300mm自动 | |
| 自动测量 | 200点 | 200点 | 2,000点 | |
| 控制PC | 笔记本类型（带操作/分析软件） | |||
| 机器构成 | 测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD） | |||